첨단 리소그래피 기술 개발 활발…EUV 외 NIL·DSA 등도 업계 관심
TSMC, 관련 특허 보유 수 448건으로 삼성 275건 대비 크게 앞서
인텔, IBM, GF 등 북미 주요 반도체 업체는 10위권 밖
중국, EUV 관련 기술 투자 활발...특허 수 지속 증가
첨단 리소그래피 기술 개발 활발…EUV 외 NIL·DSA 등도 업계 관심
TSMC, 관련 특허 보유 수 448건으로 삼성 275건 대비 크게 앞서
인텔, IBM, GF 등 북미 주요 반도체 업체는 10위권 밖
중국, EUV 관련 기술 투자 활발...특허 수 지속 증가
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2251563 | Multi | 모바일 게임 정보 | 이토 시즈카 | 14 | 1651 | 2024.04.26 |