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[참고] 2021년 2nm 및 1nm 공정을 위한 차세대 EUV 리소그래피 머신 출시 [13]




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세계에서 유일하게 EUV 리소그래피 기계를 생산할 수 있는 네덜란드 ASML 회사는 작년에 TSMC, 삼성 7nm, 그리고 올해 5nm 기술 양산을 위한 26세트의 EUV 리소그래피를 판매했으며, 35세트의 EUV 라이트 엔그래브 기계가 올해 출하될 것으로 예상됩니다.


현재 ASML가 판매하는 리소그래피 기계는 주로 NXE: 3400B와 NXE의 개량형인 3400C이며 기본 구조는 같지만, NXE: 3400C 모듈식 설계, 유지 보수가 더 편리하며, 수리 시간이 48시간에서 8 -10시간으로 단축 및 7nm, 5nm 지원입니다.


또한, NXE: 3400C의 용량도 이전 125WPH(wafers processed per hour)에서 175WPH로 증가하였습니다.


NXE에 상관없이: 3400B 또는 NXE: 3400C, 현재 EUV 리소그래피 기계는 여전히 1세대이며, 주요 특징은 객관적 렌즈 시스템의 NA(숫자 조리개)가 0.33이라는 것입니다.


리소그래피 기계의 해상도 공식에 따르면, NA 숫자가 클수록 리소그래피의 정확도가 높습니다. ASML은 새로운 세대의 EUV 리소그래피 EXE: 5000 시리즈 NA 0.55를 개발합니다. 주요 파트너는 마이크로 전자 공학 센터의 Carl Zeiss와 IMEC Belgium입니다.


EXE: 5,000은 주로 3nm 시대를 위한 차세대 리소그래피 기계 시리즈 이후, 현재의 공정 기술 로드맵은 삼성, TSMC는 3nm, 2nm, 심지어 1nm 공정도 아직 구상 중이라고 발표했습니다. 생산에는 새로운 제조 장비가 필요하며, 새로운 EUV 리소그래피 기계가 최우선 과제입니다.

 

 

 

기사전문 https://quasarzone.co.kr/bbs/board.php?bo_table=qn_hardware&wr_id=369306



댓글 | 13
1


BEST
네 세계에서 EUV 노광 장비를 만들 수 있는 유일한 기업입니다.
20.02.18 19:09
(1287086)

112.146.***.***

BEST
삼성 정직원한테도 대놓고 갑질 가능한 ASML.. 기계 설치할때도 삼성 직원들 와서 기간내에만 해달라고 설설 긴다..
20.02.18 18:57
BEST
암만 상위 공정 연구해도 기계가 없으면 일이 안되니까요.
20.02.18 19:08
(5147334)

121.132.***.***

BEST
우리도 하고 있긴한데, 기술축적 목적이 강한거 같고 생산 적용은 아닌거 같음
20.02.18 20:52
(1251864)

59.19.***.***

BEST
오래된 문어발 기업이죠. 문어발 기업의 원조격이랄까...
20.02.18 21:57
(1287086)

112.146.***.***

BEST
삼성 정직원한테도 대놓고 갑질 가능한 ASML.. 기계 설치할때도 삼성 직원들 와서 기간내에만 해달라고 설설 긴다..
20.02.18 18:57
BEST
번치킨
암만 상위 공정 연구해도 기계가 없으면 일이 안되니까요. | 20.02.18 19:08 | | |
(175166)

2.247.***.***

저 기계를 저 회사에서만 만들 수 있나요? ㄷㄷ
20.02.18 19:00
BEST
정수정
네 세계에서 EUV 노광 장비를 만들 수 있는 유일한 기업입니다. | 20.02.18 19:09 | | |
(131865)

220.94.***.***

정수정
리쏘쪽에선 슈퍼을 | 20.02.18 20:05 | | |
(5147334)

121.132.***.***

BEST
루리웹-6516671736
우리도 하고 있긴한데, 기술축적 목적이 강한거 같고 생산 적용은 아닌거 같음 | 20.02.18 20:52 | | |
(935683)

182.226.***.***

삼전이 을인 몇 안되는 상황이네.
20.02.18 19:39
(4550696)

223.62.***.***

1나노가 가능해?
20.02.18 19:55
(131865)

220.94.***.***

파써낙스
이러다 모노레이어로 갈듯 ㄷㄷ | 20.02.18 20:06 | | |
(5147334)

121.132.***.***

파써낙스
새로운 돌파구인 신 공정 발견 했으니 조용히 밀고 나가고 있는거 같음 | 20.02.18 20:53 | | |
필립스 합작회사네요. 이회사 도데체 안만드는게 뭔지....ㄷㄷㄷ
20.02.18 21:44
(1251864)

59.19.***.***

BEST
♂목표를포착했다♂
오래된 문어발 기업이죠. 문어발 기업의 원조격이랄까... | 20.02.18 21:57 | | |
바이러스 크기까지 가네 ㄷㄷ
20.02.19 01:14


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